大理石平台加装气浮装置后，就是气浮平台了。气浮测量装置属于二自由度龙门式测量装置。运动滑块装配在大理石导轨上,滑块内装有多孔质气浮轴承,气体通过空气过滤器和精密减压阀提供给气浮轴承保证滑块在导轨上基本无摩擦运行。
大理石气浮平板的精度要求是比较高的，为了进一步提高大理石平台的光洁度及精度，我们需要对大理石平面进行多次研磨。研磨前要进行研磨平板、磨料的选择。生产过程中用电子水平仪多次进行测量，并反复研磨，这样加工出来的大理石平台平面度会有明显提高。环境对大理石平台的研磨及检测也有影响，这种影响一般是指温度和振动对其影响。在精度加工中和测量过程中对温度和振动的要求比较高。经过实验分析，采用同一种测量方法对大理石平台进行检验，在恒温及常温下检测，平面度相差3um。