1、准分子蒸馏压力范围为1.0-1.0*10-2Pa，此时，气体分子的平均自由程与蒸馏器尺寸相近，气体呈过渡流状态。
2、减压蒸馏常见的减压蒸馏过程，大多在104Pa以上的压力范围内操作。减压蒸馏机理与常压蒸馏差不多，常压蒸馏装置形式基本上可用。
3、粗真空蒸馏压力范围为1.O*104Pa-2.7x102Pa，气体的流动属粘滞态。在这个压力范围内进行蒸馏操作是容易实现的。
4、低真空蒸馏压力范围为2.7*102Pa-1.OPa，此时气体接近过渡流状态，对真空蒸馏装置的选型、设计、制造、安装、操作等都有较为严格的要求。
5、分子蒸馏操作压力在1.33*10-2Pa以下。在分子蒸馏或准分子蒸馏装置中，气体的流动为分子的自由运动，也就是说，可以忽视该系统中的其它分子的碰撞和干扰，此时，蒸馏过程受来自液面的蒸发所支配。
这就使规模化应用的真空机组得到大大的简化。在某些中真空应用中，需要进入10-1Pa范围，所以中真空应用也常用三级机组。
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